Filtres à air pour l'industrie des semi-conducteurs
La poussière collée aux circuits intégrés peut provoquer des déconnexions et des courts-circuits, et la poussière affecte directement le rendement du produit. Aujourd’hui, l’industrie des semi-conducteurs (usines de puces) est la plus exigeante en termes de propreté de l’air dans les environnements de production, et a également les exigences les plus strictes en matière de filtres à air.
La forme traditionnelle de ventilation dans une usine de copeaux est la « grande circulation », dans laquelle tout le plafond de l'atelier est recouvert de filtres HEPA et tout le sol est une grille de reprise d'air. De nos jours, certains ateliers des usines de puces utilisent des FFU (« Fan Filter Units »), qui sont équipés de leurs propres ventilateurs, et les deux types de grande circulation et les FFU sont capables d'atteindre une propreté suffisante, avec seulement quelques différences dans la gestion des opérations et consommation d'énergie.
Les filtres HEPA et les FFU sont scannés et testés unité par unité avant de quitter l'usine.
Les particules de sel marin en suspension dans l'air sont l'ennemi juré de toutes les industries électroniques, mais la poussière de sel marin en suspension dans l'air contient des particules relativement grosses qui peuvent être filtrées par des filtres ordinaires. Les zones côtières sont économiquement développées et certaines industries électroniques choisissent d'y implanter leurs usines, ce qui nécessite de dépenser un peu plus d'argent en filtres.
La technologie de filtration actuelle peut réduire la concentration de poussière dans une salle blanche à presque zéro, aussi propre que vous le souhaitez. Lorsque la largeur de ligne sur une puce est aussi petite que 0,5 μm, les contaminants chimiques présents dans l'air deviennent un danger majeur pour le rendement. En conséquence, des filtres chimiques sont généralement requis dans les systèmes de climatisation des usines de copeaux dont la largeur de ligne est inférieure à 0,5 μm. Le principe et le procédé de fabrication des filtres chimiques n’est pas compliqué, c’est le filtre à charbon actif.
Les sources de contaminants chimiques peuvent être : l’air extérieur, le processus lui-même, les personnes et les matériaux de décoration. Dans la plupart des cas, les concepteurs et le personnel du site ne peuvent pas déterminer quels sont les types et les concentrations de polluants. Par conséquent, les filtres chimiques utilisés doivent avoir au moins deux caractéristiques : des propriétés d’adsorption à large spectre et une quantité suffisante de charbon actif. L'adsorption à large spectre signifie qu'il peut adsorber n'importe quoi, et le matériau qui peut avoir cette fonction est le charbon actif granulaire le plus courant et le moins cher. Si le type de polluant peut être identifié, le charbon actif peut être soumis à un traitement chimique ciblé pour améliorer la capacité d’adsorption de polluants spécifiques.
L'industrie des semi-conducteurs n'est pas une « industrie sans fumée » comme on le croit généralement, et elle connaît également des problèmes environnementaux. Parce que les procédés et les matériaux les plus récents sont souvent utilisés, certains produits chimiques sont utilisés en grande quantité avant que leur sécurité n'ait été évaluée, et la moindre négligence peut entraîner une grave pollution chimique, tant des eaux souterraines que de l'air. Pour des raisons de sécurité, certaines entreprises utilisent également des filtres chimiques dans leurs systèmes d'évacuation d'air.
